硅基 MEMS 压电薄膜水声传感器芯片，采用 AlN 新型压电薄膜材料，基于微电子和半导体新工艺制备，具有高一致性、高灵敏度、低功耗特性的水声传感核心元件。广泛应用于海洋观测探测、水下目标识别定位、水下噪声测量、海洋能源勘测等领域。为解决国外高端水听器的技术封锁实现高端水听器核心技术国产化，提供新型解决方案。
-205 dB re 1 V/μPa
56 μV/Pa
< 1%
10–20000 Hz
> 50 GΩ
150 pF
< 0.1 g
6 mm × 6 mm × 0.5 mm
被动接收模式，无需额外电压驱动，实现低功耗
采用 AlN 材质，具有较高的机电耦合系数和较低的介电损耗，能在较宽的频率范围内有效转换机械能，实现宽频带响应
6mm×6mm×0.5mm 超小尺寸，体积小、重量轻，非常适合空间受限的封装需求
制造过程高度自动化且可控，利用半导体制造工艺可以确保每个器件具有高度一致的性能参数
